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“基于多维色谱技术快速检测电子气中痕量杂质的检测方法研究”通过验收
发布日期:2020-11-03 11:27 浏览次数:


2020年10月27日,上海市市场监督管理局组织召开了市局科技项目“基于多维色谱技术快速检测电子气中痕量杂质的检测方法研究”(项目编号:2018-18)验收会。验收专家组听取了项目组的汇报,审阅了项目组提供的验收材料,经充分讨论,认为该项目已完成计划任务,达到了规定的考核指标,一致同意该项目通过验收。

该项目针对4种典型电子工业用气体四氟化碳、八氟丙烷、六氟化硫和氢气,应用多维色谱系统,配合反吹、中心切割等技术,建立了一次性检测其中8种杂质氢、氧、氮、氩、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氧化亚氮的分析方法。结果重复性好,检测效率高,检出限远优于市场检测需求,具有很好的经济效益和社会效益。基于项目研究内容,发表相关学术论文2篇,完成团体标准送审稿1项,撰写电子气痕量杂质检测方法通则的操作规范1份。

项目成果项目成果为我国半导体、光电子信息产业用的关键基础材料电子气的品质检验提供技术支持,助力IC产业蓬勃发展。

 

 


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