近日，我院机械制造所雷李华获2020年度上海市人才发展资金资助，资助项目为国家市场监督管理总局首批科技项目《复合型纳米膜厚样板的制备与溯源性研究》，这是我院继刘刚、李杰、潘洋、赵超之后，第五位优秀青年专业技术人才获得此项资助。

随着我国半导体产业的快速发展，实现纳米薄膜加工工艺和高精密测量仪器的精确计量分析，已成为我国纳米计量与表征领域的一个技术难题。我国纳米薄膜标准物质的研制和纳米薄膜测量仪器的量值溯源体系还未全面开展，严重制约了我国半导体产业独立、自主、健康地发展。项目《复合型纳米膜厚样板的制备与溯源性研究》致力于具有我国自主知识产权的复合型纳米膜厚样板的研制和纳米薄膜计量表征方法的研究，建立并完善我国纳米薄膜几何量量值溯源体系，实现半导体行业的薄膜加工尺寸测量有据可依、有源可溯，为我国半导体及纳米相关产业的健康、持续发展提供有效的计量技术支撑。

作为上海领军人才傅云霞同志率领的几何量科研团队中的重要成员，雷李华长期从事高精密纳米计量技术的研究工作，在微纳米测量方法研究和测试仪器研制中攻克了多项关键技术。在国内外知名杂志上发表SCI/EI检索论文20余篇；授权发明专利7项、实用新型专利4项；撰写国家标准、校准规范3项；主持和为主参与国家重大仪器开发专项、国家重点研发计划等省部以上项目10余项，主持和参与的科研项目先后荣获上海市科技进步二等奖2项、三等奖1项，国家科技兴检三等奖2项，中国计量测试学会科技进步三等奖1项，上海市优秀发明金奖1项。

上海市人才发展资金资助计划在上海市高层次人才队伍建设中具有重要地位，该计划主要用于本市各类高层次人才的选拔和培养，鼓励青年专业技术人才进行科研创新和科技成果转化。2020年全市共136位青年科技人才获得资助。

雷李华等五位优秀青年技术人才的入选与我院长期以来重视人才队伍建设、不断加大科技投入、激励科技创新的系列政策和导向密切相关。我院将持续营造有利于科技人才成长的良好环境，构建人才培养的长效机制，为上海科创中心建设，为本市经济、科技和社会发展提供智力支持和人才保证。