近日，由我院牵头承担的国家重点研发计划“国家质量基础设施体系”重点专项（NQI专项）“车规级IGBT功率半导体模块检测关键技术NQI集成应用示范”项目启动会暨实施方案论证会顺利召开。来自上海理工大学、中国科学院微电子研究所、北京大学等高校、研究机构的专家组成本次项目论证专家。上海市市场监管局、上海市科委、项目承担、参与单位等相关负责人、技术骨干约40余人参会。

该项目针对车规级IGBT功率半导体模块在芯片膜厚、台阶等关键几何尺寸测量与溯源、模块封装结构可靠性评测、模块电学性能测试等领域技术不足、标准规范不完善等问题，开展关键几何尺寸精密测量、量传标准物质制备、封装结构多物理场耦合分析、动静态及老化性能测试等研究，研制计量型膜厚测量装置、动态测试设备、静态测试设备及老化测试设备，制备膜厚、台阶、光栅等4种标准物质，研制相关国家标准与技术规范，构建微纳米几何量量值溯源体系，形成车规级IGBT功率半导体模块的“测量溯源-基础研究-关键技术-计量校准”解决方案并开展集成示范应用，提升良率和可靠性。论证专家认为项目实施方案合理可行，实施风险可控，实施单位具备良好科研环境与条件保障，一致同意通过，并提出指导意见。

下一步，我院将继续加强重大科研项目申请与实施，以服务国家战略需求为己任，瞄准科技发展前沿、立足科技创新，不断加强有组织科研，为产业高质量发展持续发力。