近日,我院机械所精密几何量计量创新团队的“单波长消光椭偏测量模型及反演算法研究”项目获中国航天科工集团2024年计量与校准技术国防科技重点实验室开放研究基金项目立项。
计量与校准技术国防科技重点实验室开放研究基金项目旨在开展探索性、创新性重大关键计量与校准技术的基础研究和应用基础研究,跟踪世界先进计量测试技术发展,大力提升核心竞争能力,不断推动计量行业领域技术创新与整体发展水平。我院获批项目通过单波长计量型椭偏测量模型和反演算法开发,实现微纳米薄膜准确测量,同时将微纳米薄膜厚度测量结果溯源到光波长,解决航空航天、纳米制造等产业测量中航空装备关键部件纳米增强薄膜、透明导电薄膜等微纳米薄膜厚度计量与校准需求。
近年来,我院不断加强组织基础研究类科研项目申报工作,鼓励科研人员将基础理论与实际应用相结合,服务国家重大需求、行业产业发展需要。我院机械所精密几何量计量创新团队围绕超精密计量、纳米计量等领域先后完成我院首个国防计量技术基础专项课题、首个国家航空科学基金等项目,实现多个关键计量技术重大原始创新突破,促进国防计量及相关领域高质量发展,有效提升我院在精密几何量计量技术核心竞争力。